Cam hollbwysig wrth gynhyrchu lled-ddargludyddion yw teneuo wafferi. Mae'n golygu teneuo afrlladen i'r trwch priodol heb achosi niwed i'r rhannau teneuaf ohoni. Gellir teneuo wafferi mewn nifer o ffyrdd, pob un â'i fanteision a'i anfanteision ei hun. Byddwn yn arddangos rhai o'r technegau teneuo wafferi mwyaf poblogaidd yn yr erthygl hon.
1, Malu gan beiriant:Y dechneg a ddefnyddir amlaf ar gyfer teneuo wafferi yw'r un hon. Er mwyn teneuo'r wafer, defnyddir olwyn malu. Mae hon yn dechneg syml ac effeithlon sy'n cynhyrchu gwastadrwydd a manwl gywirdeb rhagorol. Ar y llaw arall, gallai arwain at gynhyrchu gwastraff sylweddol a difrod i wyneb y wafer.
2, caboli mecanyddol cemegol (CMP): Mae'r dechneg hon yn teneuo'r wafer trwy gyfuno gweithdrefnau cemegol a mecanyddol. Mae'n golygu caboli'r wafer gan ddefnyddio slyri wedi'i wneud o gemegyn sy'n adweithio â'r wyneb a gronynnau sgraffiniol. Mae'r dechneg hon yn cyflawni lefel uchel o drachywiredd ac yn creu arwyneb llyfn iawn. Fodd bynnag, mae angen offer drud arno a gall gymryd llawer o amser.
3, Ysgythriad plasma:Mae'r dechneg hon yn lleihau trwch y wafer trwy ysgythru deunydd annymunol gan ddefnyddio plasma. Gall y dechneg hon ddarparu arwyneb llyfn iawn ac mae'n eithaf manwl gywir. Yn ogystal, oherwydd ei fod yn cynhyrchu llai o wastraff na malu mecanyddol, mae'n ddiniwed yn amgylcheddol. Fodd bynnag, gall fod yn gostus ac yn galw am offer penodol.
4, abladiad laser:Mae'r dechneg hon yn teneuo'r wafer ac yn anweddu'r deunydd annymunol gan ddefnyddio laser pwerus. Mae'n broses hynod gywir a all gynhyrchu arwyneb llyfn gyda lefel uchel o gywirdeb. Er mwyn osgoi niweidio cydrannau'r wafer, mae'n gostus ac mae angen ei oruchwylio'n agos.
Mae teneuo wafferi yn gam pwysig mewn cynhyrchu lled-ddargludyddion, ac mae sawl techneg ar gyfer ei wneud. Mae manteision ac anfanteision i bob dull, felly dylai'r opsiwn gorau gael ei bennu gan anghenion penodol y broses gynhyrchu. Bydd y technegau hyn yn symud ymlaen gydag ymchwil a datblygiad pellach, gan ei gwneud hi'n bosibl cynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion hyd yn oed yn fwy pwerus a soffistigedig.
