Ble mae padiau caboli wafferi silicon yn cael eu defnyddio?

Jul 16, 2023 Gadewch neges

Wafferi caboledig yw'r cynnyrch a ddefnyddir fwyaf, a chynhyrchir cynhyrchion wafferi silicon eraill trwy brosesu eilaidd ar sail wafferi caboledig.
Wafferi caboledig yw'r wafferi silicon mwyaf sylfaenol a ddefnyddir yn eang. Gellir defnyddio wafferi caboledig yn uniongyrchol i wneud dyfeisiau lled-ddargludyddion, a ddefnyddir yn eang mewn sglodion cof a dyfeisiau pŵer, a gellir eu defnyddio hefyd fel deunyddiau swbstrad ar gyfer wafferi epitaxial, wafferi silicon SOI a mathau eraill o wafferi silicon.
Gyda chrebachu parhaus lled llinell nodweddiadol cylchedau integredig a manwl gywirdeb cynyddol lithograffeg, bydd yr anwastadrwydd bach iawn ar y wafer silicon yn achosi dadffurfiad a dadleoli'r graffeg cylched integredig. Mae'r dechnoleg gweithgynhyrchu wafferi silicon yn wynebu gofynion a heriau uwch ac uwch. Mae maint a glendid gronynnau arwyneb sglodion hefyd yn cael effaith uniongyrchol ar gynnyrch cynhyrchion lled-ddargludyddion.
Felly, mae'r broses sgleinio yn bwysig iawn i wella gwastadrwydd a glendid wyneb y wafer silicon. Y brif egwyddor yw cyflawni planarization yr wyneb wafer silicon lled-ddargludyddion a lleihau'r garwedd trwy gael gwared ar yr haen difrod gweddilliol ar yr wyneb wedi'i brosesu.